L-umdità hija kundizzjoni komuni ta' kontroll ambjentali fit-tħaddim ta' kmamar nodfa. Il-valur fil-mira tal-umdità relattiva fil-kamra nadifa tas-semikondutturi huwa kkontrollat biex ikun fil-medda ta' 30 sa 50%, li jippermetti li l-iżball ikun f'medda dejqa ta' ±1%, bħal żona fotolitografika - jew saħansitra iżgħar fiż-żona tal-ipproċessar ultravjola 'l bogħod (DUV). - F'postijiet oħra, tista' tirrilassa sa ±5%.
Minħabba li l-umdità relattiva għandha numru ta' fatturi li jistgħu jikkontribwixxu għall-prestazzjoni ġenerali tal-kamra nadifa, inklużi:
● tkabbir batterjali;
● Il-firxa ta' kumdità li l-persunal iħoss f'temperatura tal-kamra;
● Tidher ċarġ statiku;
● korrużjoni tal-metall;
● Kondensazzjoni tal-fwar tal-ilma;
● degradazzjoni tal-litografija;
● Assorbiment tal-ilma.
Batterji u kontaminanti bijoloġiċi oħra (moffa, viruses, fungi, dud żgħir) jistgħu jimmultiplikaw b'mod attiv f'ambjenti b'umdità relattiva 'l fuq minn 60%. Xi flora tista' tikber meta l-umdità relattiva taqbeż it-30%. Meta l-umdità relattiva tkun bejn 40% u 60%, l-effetti tal-batterji u l-infezzjonijiet respiratorji jistgħu jiġu minimizzati.
L-umdità relattiva fil-medda ta' 40% sa 60% hija wkoll medda modesta li fiha l-bnedmin iħossuhom komdi. Umdità eċċessiva tista' ġġiegħel lin-nies iħossuhom dipressi, filwaqt li umdità taħt it-30% tista' ġġiegħel lin-nies iħossuhom niexfa, maqsuma, skumdità respiratorja u skumdità emozzjonali.
Umdità għolja fil-fatt tnaqqas l-akkumulazzjoni ta' ċarġ statiku fuq il-wiċċ tal-kamra nadifa – dan huwa r-riżultat mixtieq. Umdità aktar baxxa hija aktar adattata għall-akkumulazzjoni ta' ċarġ u sors potenzjalment ta' ħsara ta' skariku elettrostatiku. Meta l-umdità relattiva taqbeż il-50%, iċ-ċarġ statiku jibda jinħela malajr, iżda meta l-umdità relattiva tkun inqas minn 30%, jista' jippersisti għal żmien twil fuq l-iżolatur jew il-wiċċ mhux ertjat.
Umdità relattiva bejn 35% u 40% tista' tkun kompromess sodisfaċenti, u l-kmamar nodfa tas-semikondutturi tipikament jużaw kontrolli addizzjonali biex jillimitaw l-akkumulazzjoni ta' ċarġ statiku.
Il-veloċità ta' ħafna reazzjonijiet kimiċi, inkluż il-proċess ta' korrużjoni, tiżdied hekk kif tiżdied l-umdità relattiva. L-uċuħ kollha esposti għall-arja madwar il-kamra nadifa jiġu mgħottija malajr b'mill-inqas saff wieħed ta' ilma. Meta dawn l-uċuħ ikunu magħmula minn kisi rqiq tal-metall li jista' jirreaġixxi mal-ilma, umdità għolja tista' taċċellera r-reazzjoni. Fortunatament, xi metalli, bħall-aluminju, jistgħu jiffurmaw ossidu protettiv mal-ilma u jipprevjenu aktar reazzjonijiet ta' ossidazzjoni; iżda każ ieħor, bħall-ossidu tar-ram, mhuwiex protettiv, għalhekk F'ambjenti ta' umdità għolja, l-uċuħ tar-ram huma aktar suxxettibbli għall-korrużjoni.
Barra minn hekk, f'ambjent ta' umdità relattiva għolja, il-fotoreżist jiġi estiż u aggravat wara ċ-ċiklu tal-ħami minħabba l-assorbiment tal-umdità. L-adeżjoni tal-fotoreżist tista' wkoll tiġi affettwata b'mod negattiv minn umdità relattiva ogħla; umdità relattiva aktar baxxa (madwar 30%) tagħmel l-adeżjoni tal-fotoreżist aktar faċli, anke mingħajr il-ħtieġa ta' modifikatur polimeriku.
Il-kontroll tal-umdità relattiva f'kamra nadifa tas-semikondutturi mhuwiex arbitrarju. Madankollu, hekk kif jinbidel iż-żmien, huwa aħjar li jiġu riveduti r-raġunijiet u l-pedamenti ta' prattiki komuni u ġeneralment aċċettati.
L-umdità tista’ ma tkunx partikolarment notevoli għall-kumdità umana tagħna, iżda ħafna drabi jkollha impatt kbir fuq il-proċess tal-produzzjoni, speċjalment fejn l-umdità hija għolja, u l-umdità ħafna drabi hija l-agħar kontroll, u huwa għalhekk li Fil-kontroll tat-temperatura u l-umdità tal-kamra nadifa, l-umdità hija preferuta.
Ħin tal-posta: 01 ta' Settembru 2020